超纯水在线颗粒计数传感器
PLCA-800系列
最多可以在线检测10个点的小巧设计，最小可测粒径为0.1μm。
概要
PLCA-800系列在线颗粒计数传感器可用于计算在半导体和液晶制造工艺中所用的超纯水中的微粒子颗数，并且能够实时显示结果。设计外观小巧，最小可测粒径为0.1μm。快速响应样品中的细微变化。可将测量到的数据收集保存到电脑，并且可以进行编辑。做为理想的颗粒计数传感器，PLCA-800可以面对超纯水生产线中进行多点测量的迫切要求。
| 传感器模块 |
PLCA-800Q / PLCA-801Q |
| 应用模块 |
PLCA-850 |
| 软件 |
PLCA-880 |
| 取样装置 |
PLCA-SP-1A(可选件) |
可以根据客户的设备状况，实现最佳检测，其具备多种功能，使用方便
特点
可方便地安装到纯水处理设备。
2种机型的最小可测粒径分别为0.1μm、0.2μm。
通过在线检测，可以瞬间响应样品中的细微变化。
可以通过电脑显示器画面显示出生产线的运转情况和检测结果，便于数据的收集和编辑。
配备了最长可至50m的应用模块与传感器连接用双端口RS485线缆。
系统构成
药液用在线颗粒计数传感器
PLCA-800系列
规格
■传感器模块规格
| |
标准型 使用石英玻璃检测单元 |
使用石英玻璃检测单元 最小可测粒为0.1μm |
使用蓝宝石玻璃检测单元 最小可测粒径为0.1μm |
| PLCA-800Q |
PLCA-801Q |
PLCA-801S |
| 测量原理 |
激光散射法(90°散乱) |
| 适用样品 |
药液/纯水中的微粒子※ |
氢氟酸(HF)等 |
| 测量单元材质 |
石英玻璃 |
蓝宝石玻璃 |
| 样品温度 |
15?35℃※※ |
| 测量范围 |
最小0.2μm |
最小0.1μm |
最小0.1μm |
| 阈值(界限值) |
2ch[0.2] [0.5] |
2ch[0.1] [0.2] |
2ch[0.1] [0.2] |
| 测量容量 |
1.80mL/min |
0.22mL/min |
| 样品流量 |
20mL/min±2mL |
| 样品压力 |
0.05MPa?0.15MPa |
| 环境温度 |
15?25℃ |
| 环境湿度 |
45?85%RH (无凝结) |
| 电源 |
DC24V(通过应用模块供电) |
| 外形尺寸 |
105(W)×88(H)×89(D)mm |
| 重量 |
约2kg |
| 配管 |
外径4mm(内径3mm) |
| 配管接头 |
Japan Pillar Super |
※氢氟酸、强碱等会侵蚀石英玻璃的物质除外。
※使用高温取样装置时为15?80℃
■应用模块规格
| |
PLCA-850UD |
PLCA-850UA |
| 可连接传感器数量 |
最大10 |
| 传感器接口 |
RS-485×2端口(每个端口最长50m) |
| 电脑接口 |
RS-232×1通道(最长10m) |
| 报警输出 每个通道2点 (每个传感器4点) |
5个传感器用 (20点) |
10个传感器用 (40点) |
| 模拟输出(4?20mA) 每个通道1点 (每个传感器2点) |
没有 |
10个传感器用 (20点) |
| 报警输出规格 |
FET明沟
最大电压 24V DC 最大电流 20mA DC |
| 环境温度 |
15?30℃ |
| 环境湿度 |
45?85%RH (无凝结) |
| 电源 |
100?240_V_AC 50/60_Hz
(使用10台传感器时 约100VA) |
| 外形尺寸 |
260(W)×130(H)×160(D)mm |
| 重量 |
约35kg |
■软件规格
| |
PLCA-880 |
| OS |
Windows NT Workstation 4.0 (英语版) |
| 电脑配置要求 |
CPU133MHz以上、内存48MB以上
硬盘1GB以上、带RS-232C接口 |
药液用在线颗粒计数传感器
PLCA-800系列
取样装置※(可选件)
一体化的取样装置(PLCA-SP-1A)/传感器模块类型。
它是可以进行取样处理的装置，也可以检测到容易起泡的SC-1液等中的微粒子。
具备冷却功能，脱泡功能和流量调整功能等，取样部分和传感器实现了一体化，是实现了取样处理的装置。传感器模块可以根据用途从PLCA-800Q、PLCA-801Q、PLCA-801S中进行选取。这样，以往难以处理的SC-1液等容易起泡的药液也可以进行微粒子检测。取样装置有两种型号，一种是针对常温样品附有脱泡功能和流量调节功能的SPL-810，另一种是针对高温样品在PSL-810中添加了冷却功能的SPL-811。
取样装置规格
| |
带有脱泡功能和流量调节功能的常温样品用 |
带有脱泡功能和流量调节功能、以及冷却功能的高温样品用 |
| SPL-810 |
SPL-811 |
| 药液温度 |
15?35℃ |
15?80℃ |
| 样品供给压力 |
0.05MPa?0.15MPa |
| 环境温度 |
15?25℃ |
| 环境湿度 |
45?85%RH (无凝结) |
| 电源 |
没有 |
DC24V 约15W |
外形尺寸
(不包括突起部) |
175(W)×150(D)×130(H)mm |
220(W)×150(D)×250(H)mm |
| 配管 |
外径4mm(内径3mm) |
| 配管接头 |
Japan Pillar Super |
药液用在线颗粒计数传感器
PLCA-800系列
外形尺寸图(单位：mm)
传感器模块
PLCA-800Q/801Q/801S |
应用模块
PLCA-850 |
 |
 |
取样装置
SPL-810 |
SPL-811 |
 |
 |
药液用在线颗粒计数传感器
PLCA-800系列
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