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日本西格玛(SIGMA KOKI)_精密(压电陶瓷)平台_SFS-60YAW(OP)

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产品介绍规格参数包装清单产品评价

日本SIGMA KOKI西格玛光机精密(压电陶瓷)平台SFS-60YAW(OP)

 

特征:

 

SFS 系列平台是我们最新开发的,利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中,有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制,可以实现20nm 的分辨率,90μm 行程,320μm 的手动粗调。

我们采用了无空行程的金属弹性变形机构,以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。

注意

所有数据的测量温度环境为摄氏20 ± 1 ℃。使用前,请仔细阅读使用说明书和安装说明书。

所有数据均为单个平台的数据,而非组装后的复合体,“复合”平台。

所有数据均为许用载荷内的值,而且载荷在平台中心,无偏载。

所有数据均为在上面板上的值。

行程为开环控制时的数据。

直动平台的重复定位精度值是采样时间为350?s 时的闭环控制时的值;对于转动平台和摆动平台,则是开环控制时的值。

分辨率是使用FINE-01,503 时的数据。

采用FINE 控制器,改善了闭环控制时的直线性。

CL:采用位移传感器的闭环控制平台/ OP:无位移传感器的开环控制平台

规格:

型号   

行程(粗调)

行程(细调)

自重
[kg]

承载能力
[N]

理论分辨率(开环)]

分辨率(闭环)

重复重复定位精度
[μm]

Y轴方向直线度
[μm]

Z轴方向直线度
[μm]

SFS-60X(CL)

320±10% (μm)

90±10% (μm)

0.37

9.8 (1kgf)

1 (nm

20 (nm)

0.1

1

0.5

SFS-60YAW(OP)

57±15% (分)

900±15% (秒)

0.31

9.8 (1kgf)

0.01 (秒)

SFS-60RP(OP)

25±15% (分)

215±15% (秒)

0.38

9.8 (1kgf)

0.005 (秒)

因为汇率经常变动,以上产品价格只做参考!不做下单依据!请见谅!谢谢合作!

运营商:深圳市杉本贸易有限公司

服务承诺:本产品全国联保,享受三包服务,质保期为:一年质保。如因质量问题或故障,
凭厂商维修中心或特约维修点的质量检测证明,享受7日内退货,15日内换货,
15日以上在质保期内享受免费保修等三包服务!

产品咨询电话:86-755-83501888  400-885-3088(全国免费)

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