SIGMA KOKI西格玛光机XYZ轴TSD不锈钢直动平台TSDS-255CL产品描述
特征：
平台与Z轴连接板加工在一体的XYZ轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
'L型的Z轴的操作部位于上方，因此不受安装方向的限制，具有很好的操作性能。
技术参数：
|
型号 |
台面尺寸
[mm] |
行程
[mm] |
螺距 |
移动精度直线度
[mm] |
最小读数
[mm] |
最小分辨率
[mm] |
承载能力Fz'
[N] |
最大承载力矩Fx'
[N?m] |
最大承载力矩Fθ'
[N?m] |
刚度Fx"
[arcsec/N?cm] |
自重
[kg] |
|
TSDS-255CL |
25 x 25 |
±3 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.003 |
9.8 （1.0kgf） |
1 |
0.7 |
6.7 |
0.2 |
|
TSDS-255SL |
25 x 25 |
±3 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.003 |
9.8 （1.0kgf） |
1 |
0.7 |
6.7 |
0.2 |
|
TSDS-405CL |
40 x 40 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.003 |
19.6 （2.0kgf） |
1.3 |
1.3 |
1.26 |
0.6 |
|
TSDS-405SL |
40 x 40 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.003 |
19.6 （2.0kgf） |
1.3 |
1.3 |
1.26 |
0.6 |
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