阶差规
516系列
日本三丰品牌 MITUTOYO 516-198 阶差规
特点：
1、阶差规用于光学仪器的Z轴(垂直方向)校准。
2、相邻阶差用干涉仪校准的分辨率为0.01μm，测量的线性偏差为±0.20μm。
3、可选用钢制或陶瓷型。
性能参数：
公制型
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货号 |
备注 |
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516-198 |
钢制型(阶差: 10μm/5μm/2μm/1μm) |
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516-199 |
钢制型(阶差: 300μm/100μm/50μm/20μm) |
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516-498 |
陶瓷型(阶差: 10μm/5μm/2μm/1μm) |
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516-499 |
陶瓷型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm) |
尺寸图片：
相邻量块阶差值
516-198,516-498 : 10μm，5μm，2μm，1μm
516-199,516-499: 300μm，100μm，50μm，20μm
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